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微納結構三維形貌測量儀
更新時間:
2021-03-16
型号:
浏覽量:
1628
微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白(bái)光(guāng)幹涉掃描原理(lǐ),以光(guāng)波長作(zuò)爲測量基準,利用納米級高精度掃描系統結合具有自(zì)主知識産權的高精度解析算法,實現連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得(de)待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。
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