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  • URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī)
    URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī)

    更新時間:2024-04-09

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    URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī),采用三柔性支點實現高精度自(zì)動調平;真空接觸自(zì)動曝光(guāng);樣片升降、調平、接觸、曝光(guāng)、複位實現自(zì)動化控制。
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  • TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光(guāng)刻機(jī)
    TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光(guāng)刻機(jī)

    更新時間:2021-03-15

    型号:

    浏覽量:1359

    TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光(guāng)刻機(jī),照(zhào)明系統:冷(lěng)光(guāng)橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光(guāng)學系統:固定光(guāng)欄、可(kě)變光(guāng)欄、快(kuài)門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光(guāng)片、場鏡1、冷(lěng)光(guāng)反射鏡1、反射鏡2; 冷(lěng)卻風(fēng)扇
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  • DS-2000/14G型光(guāng)刻機(jī)
    DS-2000/14G型光(guāng)刻機(jī)

    更新時間:2023-08-03

    型号:

    浏覽量:1491

    DS-2000/14G型光(guāng)刻機(jī)該機(jī)可(kě)采用紫外光(guāng)、深紫外光(guāng)、甚至更短(duǎn)波長的極紫外光(guāng)作(zuò)爲光(guāng)源,用DMD數字微鏡陣列替代傳統掩模闆,采用積木 錯位蠅眼透鏡實現高均勻照(zhào)明。
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