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URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī)

簡要描述：URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī)，采用三柔性支點實現高精度自(zì)動調平；真空接觸自(zì)動曝光(guāng)；樣片升降、調平、接觸、曝光(guāng)、複位實現自(zì)動化控制。

産品型号：
廠(chǎng)商性質：生(shēng)産廠(chǎng)家
更新時間：2024-04-09
訪問(wèn) 量：3249

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芯片加工(gōng)設備

激光(guāng)切割機(jī) 熱(rè)壓鍵合機(jī) 等離(lí)子清洗機(jī) 光(guāng)刻機(jī)

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品牌	其他(tā)品牌	價格區間	面議(yì)
儀器種類	微流控芯片系統	應用領域	醫療衛生(shēng),環保,電子

産品名稱：URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī)

主要技術(shù)指标：

曝光(guāng)面積：100mm×100mm

分(fēn)辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對準精度：±0.8μm

大(dà)膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可(kě)擴展爲15mm)；

照(zhào)明均勻性：±4%（Ф100mm 範圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相(xiàng)對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外光(guāng)刻機(jī)技術(shù)特點：

創新采用三柔性支點實現高精度自(zì)動調平；真空接觸自(zì)動曝光(guāng)；樣片升降、調平、接觸、曝光(guāng)、複位實現自(zì)動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現高均勻照(zhào)明；可(kě)連續設定分(fēn)離(lí)間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現高對準精度。整機(jī)具有性能可(kě)靠、操作(zuò)方便、自(zì)動化程度高等特點。

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